熱式西門子質量流量計的毛細管是一根管徑長度與管道內勁比值很大的的部件，比較容易在管壁上沉積垢層或被異物堵塞，毛細管與氣體主通道之間是一體式設計，是不可拆卸的部件。正因為一體式設計，熱式質量流量計的密封性比其它工作原理的質量流量計較好，可測量強腐蝕性氣體的質量流量。這也是為什么在半導體行業的蝕刻應用比較常見的都是熱式工作原理的質量流量計。

        直通式西門子質量流量計工作原理直通式熱式質量流量計的工作原理與上面毛細管熱式質量流量計其實有些似，只是沒有旁路結構，將流量傳感器直接置于管路中測量通過該管道內氣體的質量流量。用于直通式熱式質量流量計中的流量傳感器其實是一塊很小的芯片，貼于管道內壁上，所以直通式熱式質量流量計也稱為熱貼片式質量流量計，直通式熱式質量流量計的測量精度相對差一些，通常用于對精度要求不是很嚴苛的應用，比如石化行業等。優點是體積嬌小，方便工業集成。差壓式質量流量計的工作原理差壓式質量流量計的工作原理是測量管路中兩點之間的壓力差，用層流片工作原理測量，氣體可以隨便切換，并利用文丘里管結構使氣體做層流運動。